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拋光盤的平面精度與其精度的保持性決定了平面拋光的精度。因此為了使工件獲得高精-度的加工平面,畢須使用高精-度平面的拋光盤。在拋光高-精度面積較小的平面加工件時,要使用彈性形變小并且能始-終保持平面度的拋光盤。所以在平面拋光盤上涂上一層彈性或軟金屬材料或者是采用特種玻璃作為拋光盤,都可以獲得高精-度的表面質量。
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